Меры предосторожности при проектировании вакуумного оборудования:

1.Определить общую максимально допустимую скорость утечки вакуумного оборудования в соответствии с технологическими требованиями оборудования и определить максимально допустимую скорость утечки каждого компонента на основе этой общей скорости утечки.

2. Исходя из предельно допустимой скорости утечки и других показателей оборудования, на этапе проектирования предварительно определяется используемый метод обнаружения утечек, который используется в качестве одного из основных принципов отладки и приемки.

3. На основании максимально допустимого показателя утечки оборудования или компонентов определите уплотнение, способ соединения и общую точность обработки оборудования, а также то, какая динамическая форма уплотнения может соответствовать требованиям. Например, фланец использует металлическое уплотнение или резиновое уплотнение.

4. При проектировании структурной прочности контейнеров следует учитывать сопротивление давлению и структурную прочность, которыми должен обладать испытуемый образец при использовании метода давления для обнаружения утечек.

5. При выборе конструкционных материалов для компонентов учитывайте, использовались ли материалы, которые могут быть подвергнуты коррозии рабочими средами и утечками газов и могут привести к повреждению.

6. При проектировании конструкции необходимые резервные интерфейсы для инструментов обнаружения утечек должны быть оставлены на контейнере или системе для использования при обнаружении утечек при сборке и отладке оборудования. Особенно для больших и сложных трубопроводных систем обычно требуются сегментированные методы обнаружения утечек. Поэтому на трубопроводе должны быть установлены сегментированные изолирующие клапаны, а интерфейсы инструментов обнаружения утечек должны быть зарезервированы на каждой секции изоляции.

7. При проектировании конструкции деталей старайтесь избегать использования конструктивных схем, которые могут помешать работе по обнаружению утечек. Например, глухие отверстия нельзя использовать для винтовых отверстий в вакуумных камерах, так как газ в оставшемся пространстве внутри винтового отверстия может выйти только через зазор резьбы после установки винта, что приводит к виртуальной утечке. Таким образом, продлевается время откачки системы и мешает нормальной работе обнаружения утечек. Конструкция, которая не должна появляться при обнаружении утечек в вакууме, как показано на рисунке.

8.Аналогичным образом, непрерывные двусторонние сварные швы и многослойные уплотнительные кольцевые конструкции не допускаются в конструкционном исполнении, поскольку это создаст "паразитное скопление" посередине, где газ будет образовывать виртуальные утечки; Когда одновременно просачиваются как внутренние, так и внешние сварные швы или уплотнительные кольца, "паразитный объем" приводит к тому, что время отклика газа, проходящего через двухслойный сварной шов, слишком велико, что делает невозможным нормальное обнаружение утечек.

9.При проектировании сварочных конструкций постарайтесь свести к минимуму количество сварных швов, которые не могут быть проверены на герметичность после окончательной сборки.

Обнаружение утечек в процессе производства вакуумного оборудования

янеобходимо на этапе обработки оборудования, и необходимо соблюдать технологию обработки (особенно процесс сварки), чтобы своевременно проводить обнаружение течи на полуфабрикатах. Для компонентов, к которым нельзя прикасаться, проверять утечку или ремонтировать после изготовления, необходимо строго проверять качество сварного шва. Неквалифицированные детали должны быть повторно сварены, отремонтированы и своевременно проверены. Только после выполнения требований может быть выполнен следующий процесс. Особенно для сборки, сварки и обработки больших контейнеров решающее значение имеет обнаружение течи во время промежуточного процесса. При необходимости должны быть спроектированы и изготовлены специализированные инструменты для обнаружения течи (такие как ящики для обнаружения течи, глухие пластины и т. д.). Для вакуумных камер с использованием двухслойных курток с водяным охлаждением лучше всего сначала сварить внутреннюю стенку камеры и провести тестирование на герметичность, чтобы подтвердить отсутствие утечек перед сваркой наружной стенки камеры. Аналогичным образом, в ситуациях, когда на внешней стороне стенки камеры есть изоляционный слой или другие несъемные конструкции, перед закрытием наружной конструкции необходимо провести строгое обнаружение течи на стенке камеры. Если позволяют условия, все вакуумные фланцы и их соединительные трубы (включая фланцы корпуса вакуумной камеры и стенки камеры) должны быть обработаны сваркой поверхности фланца. Фланцы, которые не обрабатываются после сварки, могут соответствовать требованиям герметизации при монтаже и вводе в эксплуатацию, но во время использования оборудования такие факторы, как тепло и вибрация, могут индуцировать снятие напряжения сварки, что приводит к деформации фланца и снижению производительности герметизации. Строгое соблюдение гигиенических норм вакуумной работы и эксплуатационных стандартов во время производственного процесса также полезно для улучшения воздухонепроницаемости вакуумного оборудования и систем. После того, как сварочный паз отполирован и сформирован, его необходимо своевременно очищать и защищать, чтобы улучшить воздухонепроницаемость сварочного шва. Динамические и статические уплотнительные поверхности обработанных компонентов должны иметь защитные меры для предотвращения столкновений и царапин при хранении, обработке и сборке. При использовании сварочных гофрированных труб, металлокерамических или стеклянных уплотнительных деталей, стеклянных компонентов и других уязвимых частей следует выполнять тщательную работу, особенно во избежание повреждений, вызванных утечкой после прохождения предварительной проверки.

Этапы обнаружения утечек при монтаже и пуско-наладке вакуумного оборудования

Фаза установки и отладки является основной частью работы по обнаружению утечки вакуумного оборудования или системы. Если герметичность сварных швов оборудования была обеспечена за счет обнаружения утечки на этапе обработки, то проверка и обеспечение герметизации соединительных деталей во время установки и ввода в эксплуатацию оборудования находится в центре внимания работы по обнаружению утечки. Включая ключевые подозрительные области, такие как фланцевые соединения и динамические уплотнения между различными трубопроводами и компонентами. Если обнаружение утечки проводится одновременно как на сварочном шве, так и на соединительной части, нагрузка и сложность обнаружения утечки возрастут. Лучше всего использовать сегментированное обнаружение утечки для большого и сложного вакуумного оборудования. Для каждого установленного компонента следует проводить обнаружение утечки на его соединительных деталях и сварных швах. После выполнения требований можно установить следующий компонент. Потому что проверка утечек после полной сборки всех компонентов вызывает опасения не только по поводу слишком большого количества деталей, но и возможности одновременного обнаружения нескольких утечек, что создает большие трудности для общего обнаружения утечек. Этапы обнаружения утечек в процессе установки и ввода в эксплуатацию вакуумного оборудования следующие:

1.Понять структурный состав и процесс сборки оборудования, подлежащего проверке. Освоить требования оборудования и определить ключевые подозрительные области, требующие обнаружения утечек.

2.Исходя из требований к максимально допустимой скорости утечки и необходимости определения конкретного местоположения отверстия утечки, и исходя из принципов экономии, скорости и надежности, правильно выбрать способ или инструмент обнаружения утечки, подготовить необходимое вспомогательное оборудование для обнаружения утечки, а также сформулировать практичную и выполнимую программу обнаружения утечки.

3.Очистите проверенные детали должным образом, удалите сварочные шлаки и масляные пятна, очистите их в соответствии с условиями вакуумной гигиены и высушите. Для небольших устройств с высокими требованиями. После очистки его можно запекать в вакуумной сушильной печи. После очистки он может не только предотвратить блокировку утечек грязью, маслом, органическими растворами и т. д., но и защитить инструмент обнаружения утечек.

4.Провести калибровку чувствительности обнаружения утечки выбранных методов и оборудования обнаружения утечки и определить время обнаружения утечки системы обнаружения утечки.

5.Если используется метод обнаружения утечки вакуума, в целях повышения чувствительности прибора проверяемая деталь должна быть как можно больше эвакуирована в более высокий вакуум.

6.Там, где это возможно, приоритет следует отдавать использованию более экономичных методов обнаружения утечек на месте.

7.При использовании гелиевого масс-спектрометрического оборудования для обнаружения утечек для испытываемых деталей, не требующих высокого обнаружения утечек или имеющих большие утечки, рекомендуется использовать гелиевый газ с более низкой концентрацией для обнаружения утечек на ранней стадии обнаружения утечек, а затем выполнить обнаружение утечек для небольших утечек для экономии гелиевого газа.

8.Своевременный ремонт и блокировка обнаруженных крупных утечек перед проведением обнаружения небольших утечек.

9.Проведите повторную проверку обнаруженных и устраненных утечек, чтобы убедиться, что результаты обнаружения утечек соответствуют требованиям.