Клапаны являются основными компонентами полупроводниковых вакуумных систем и жидкостных систем, которые играют роль открытия и закрытия, управления потоком / направлением, регулирования давления и т. Д. Есть много видов клапанов, таких как клапаны в вакуумных системах, которые можно разделить на запорные клапаны, регулирующие клапаны, передаточные клапаны и т. Д. В жидкостной системе необходимы мембранные клапаны и клапаны регулирования давления. Требования к полупроводниковым клапанам очень строгие, к герметичности, вакууму, чистоте и другим параметрам предъявляются очень высокие требования, при выборе материалов, обработке поверхности и других аспектах производители сталкиваются с большими трудностями.

Задвижка

особенности конструкции: шиберная панель шиберного клапана движется в вертикальном направлении вдоль центральной линии канала, что делает клапан менее закрытым для потока среды, когда он полностью открыт или полностью закрыт, аналогично принципу затвора. Закрывающие части обычно плоские или клиновидные RAMS, которые тесно оснащены уплотнительной поверхностью седла для достижения герметизации.

Принцип работы: Через маховик, электрическое или пневматическое устройство для привода подъемника, с тем чтобы контролировать открытие и закрытие клапана, для достижения цели соединения или отключения воздушного потока в вакуумной трубе.

Сценарий применения: Он подходит для случаев, когда степень вакуума высока, среда чиста, а требования к управлению потоком не очень точны. Он часто используется в главном канале системы высокого вакуума в производстве полупроводников.

Угловой клапан

особенности конструкции: Корпус клапана углового клапана прямоугольный, обычно впускной и выпускной каналы не находятся на одной прямой линии, как правило, угол 90 градусов. Его конструкция компактна, катушка в основном сферическая или коническая, а управление открыванием и закрытием клапана осуществляется путем вращения катушки.

Принцип работы: когда катушка поворачивается в открытое положение, среда может течь от входа к выходу; При вращении в закрытое положение катушка плотно прикреплена к седлу, блокируя поток среды.

Сценарий применения: он часто используется в ветви вакуумной трубки, которая должна часто открываться и закрываться в полупроводниковом оборудовании и требует относительно компактного пространства, такого как часть соединения вакуумных труб некоторых небольших реакционных камер.

Мембранный клапан

особенности конструкции: Корпус клапана внутри мембранного клапана имеет слой эластичной диафрагмы, полость корпуса клапана отделена от среды. Диафрагма, обычно изготовленная из резины или другого коррозионно-стойкого износостойкого материала, открывает и закрывает клапан, перемещая диафрагму вверх и вниз.

Принцип работы: толкайте диафрагму ручным, пневматическим или электрическим устройством, чтобы установить или отделить ее от сиденья, чтобы добиться включения-выключения управления вакуумной трубой. В закрытом состоянии диафрагма может эффективно предотвращать утечку среды и избегать прямого контакта между средой и металлическими деталями внутри клапана, уменьшая коррозию и износ.

Сценарий применения: В процессе производства полупроводников он часто используется для управления вакуумными трубами, которые требуют очень высокой чистоты среды, коррозионных или легко кристаллизующихся сред, таких как газопроводы в оборудовании для химического осаждения из паровой фазы (CVD).

Клапан-бабочка

структурные характеристики: корпус клапана-бабочки имеет форму диска, внутри находится вращающаяся пластина-бабочка, пластина-бабочка вращается вокруг вала клапана, угол вращения обычно составляет от 0 ° до 90 °, что позволяет добиться точной регулировки средней скорости потока.

Принцип работы: Вращая пластину, измените угол между пластиной и каналом корпуса клапана, чтобы контролировать область потока и размер потока среды. Когда диск поворачивается перпендикулярно каналу корпуса клапана, клапан закрыт; Когда диск поворачивается параллельно каналу корпуса клапана, клапан полностью открыт.

Сценарий применения: подходит для вакуумных труб большого диаметра и требований к регулированию высокого расхода, таких как вакуумная выхлопная система на полупроводниковом заводе, из-за своей простой структуры, небольшого объема, легкого веса, простоты в эксплуатации и других преимуществ.

Шаровой клапан

Особенности конструкции: катушка шарового клапана представляет собой шар, шарик имеет круг через отверстие, шарик через шток клапана и соединенное приводное устройство, может вращаться вокруг оси штока клапана. Положение шарика в корпусе клапана определяет состояние открытия и закрытия клапана, а шарик может быть полностью открыт или закрыт поворотом на 90 °.

Принцип работы: когда шаровое отверстие совмещено с впускным и выпускным каналами корпуса клапана, клапан находится в полностью открытом состоянии, и среда может проходить плавно; Когда шарик вращается так, что сквозное отверстие перпендикулярно впускному и выпускному проходу, клапан закрыт, а поток среды отсекается.

Сценарий применения: он часто используется в вакуумных системах, где средний поток должен быть быстро отрезан или соединен, и в вакуумных трубах, где точность управления средним потоком не требуется, но требуется хорошая герметизация, например, некоторые вспомогательные вакуумные системы в производстве полупроводников.

штепсельный клапан

Конструктивные особенности: Запорный клапан состоит из клапанной пластины, седла, направляющей рейки, приводного устройства и других компонентов. Пластина клапана обычно плоской формы и может перемещаться перпендикулярно направлению потока среды на направляющей рейке, а клапан открывается и закрывается путем вставки или снятия пластины клапана.

Принцип работы: При открытии клапанная пластина поднимается или вытягивается из канала корпуса клапана, так что среда может свободно проходить; При закрытии клапанная пластина опускается в седло и плотно прилегает к уплотнительной поверхности седла, чтобы предотвратить прохождение среды.

Сценарий применения: он в основном используется в ситуациях, когда степень вакуума высока, среда является чистым газом, а производительность уплотнения клапана очень высока, например, система транспортировки газа высокой чистоты в производстве полупроводников и изоляция вакуумной камеры оборудования для вакуумного покрытия.

Электромагнитный клапан

особенности конструкции: Соленоидный клапан состоит из катушки соленоида, железного сердечника, сердечника клапана, корпуса клапана и других частей. Когда электромагнитная катушка находится под напряжением, создается магнитное поле для привлечения движения железного сердечника, которое управляет действием сердечника клапана и осуществляет управление открытием и закрытием клапана.

Принцип работы: когда электромагнитная катушка находится под напряжением, железный сердечник всасывается под действием магнитного поля, заставляя сердечник клапана двигаться вверх, и клапан открывается; Когда электромагнитная катушка выключена, железный сердечник сбрасывается под действием силы пружины или собственного веса, и катушка падает, чтобы закрыть клапан.

Сценарий применения: он подходит для полупроводниковых вакуумных систем, требующих дистанционного управления, высокой степени автоматизации и определенных требований к скорости переключения, например, в системе управления вакуумом некоторого оборудования для производства полупроводников, он может сотрудничать с компьютерной системой управления для достижения точной регулировки вакуума и управления потоком газа.