Производство полупроводниковых чипов должно осуществляться в вакуумной среде, что позволяет избежать окисления и загрязнения, а также обеспечить качество и производительность чипа. При нормальной температуре и давлении окружающая среда содержит большое количество нечистых веществ, а в процессе производства полупроводников чип подвержен окислению и загрязнению, что серьезно влияет на качество чипа и эффективность производства.

Общие применения вакуумных насосов можно разделить на 8 категорий в зависимости от различных требований и областей применения степени вакуума, включая сырой вакуум, технологический вакуум, промышленный вакуум, полупроводник, осаждение тонких пленок (кроме полупроводников), солнечную энергию, приборостроение и научные исследования.

Соответствующие продукты также различны, высокий / ультравакуум соответствующий низкотемпературным насосам, молекулярным насосам, распыляющим ионным насосам, сублимационным насосам титана, диффузионным насосам и т. д. Средний вакуум главным образом соответствует сухому насосу, двухступенчатому роторно-пластинчатому насосу, насосу Рутса, насосу масляного усилителя, насосу струи водяного пара; Грубый / низкий вакуум соответствующий одноступенчатому роторно-пластинчатому насосу, насосу скользящего клапана, насосу жидкостно-кольцевого насоса, поршневому вакуумному насосу. В настоящее время полупроводниковое месторождение является крупнейшим вторичным рынком для применения вакуумного оборудования, на долю которого приходится 38% от общего

Вакуумная система состоит из вакуумного насоса, системы управления, резервуара для хранения газа, трубопроводной установки и других компонентов, включая молекулярный насос, холодный насос, сухой насос, изолирующий клапан, регулирующий клапан, трансмиссионный клапан, уплотнительное кольцо и многие другие основные полупроводниковые компоненты.

Клапан является важной частью вакуумной системы и жидкостной системы полупроводникового оборудования, которая играет роль открытия и закрытия, управления потоком / направлением потока, регулировки давления и т. Д., И широко используется в травильных машинах, машинах ионной имплантации, оборудовании для полировки CMP и т. Д. Из-за особенности полупроводникового оборудования полупроводниковые клапаны имеют очень высокие требования к чистоте, герметизации, устойчивости к давлению и коррозионной стойкости.

В зависимости от среды применения клапан можно разделить на вакуумный клапан и клапан жидкостной системы. Вакуумный клапан - это клапан, используемый в вакуумной системе, и его роль обычно состоит в том, чтобы изолировать вакуумную зону (например, технологическую камеру) или контролировать количество газа в и из; Клапан жидкостной системы используется в жидкостной системе клапана, в основном играет отсечку выключателя жидкости, регулирование потока жидкости, изменение направления потока жидкости и другие три роли.

уплотнительное кольцо, китайское имя уплотнительное кольцо, представляет собой резиновое уплотнительное кольцо с круглым поперечным сечением, его основной функцией является уплотнение, такое как газовое уплотнение, водяное уплотнение, масляное уплотнение и так далее. Общее резиновое уплотнительное кольцо легко носить, химическая коррозионная стойкость и сопротивление проникновению газа низки.

Поскольку он дешев, прост в изготовлении, надежен в работе и прост в требованиях к установке, это наиболее распространенное уплотнение. Уплотнительное кольцо может выдерживать десятки мегабайт давления и может использоваться в статических или динамических приложениях, где есть относительное движение между компонентами.

Уплотнительные кольца подходят для различных форм уплотнения, включая статическое уплотнение и динамическое уплотнение. Подходит для различных видов использования материалов, размеры и пазы были стандартизированы, взаимозаменяемость. Режим движения также включает вращательное движение, осевое возвратно-поступательное движение или комбинированное движение (например, вращательное возвратно-поступательное комбинированное движение).

В дополнение к вышеуказанным двум преимуществам уплотнительные кольца имеют сильную приспособляемость к маслу, воде, газу, химической среде или другим смешанным средам. Благодаря выбору подходящих резиновых материалов и соответствующей конструкции формулы, для достижения эффективного эффекта уплотнения масла, воды, воздуха, газа и различных химических сред. Диапазон рабочих температур широк (-60 ° C ~ + 220 ° C), а давление может достигать 1500 кг / см2 при фиксированном использовании (и используется усилительное кольцо).

Кроме того, структура секции уплотнительного кольца чрезвычайно проста и обладает эффектом самоуплотнения, производительность уплотнения надежна. Поскольку само уплотнительное кольцо и структура места установки чрезвычайно просты и стандартизированы, установка и замена очень просты. Низкая стоимость: динамическое сопротивление трению относительно мало.