Понимание типичных применений технологий сверхвысокого вакуума и высокого вакуума(3)

Клапаны сверхвысокого вакуума и высокого вакуума классифицируются по диапазону степени вакуума. Для различных сценариев применения необходимо описать и определить характерные признаки клапанов различных размеров. Дополнительные условия, такие как высокое давление газа, сильное магнитное поле, низкая утечка, состояние без частиц (состояние с достигнутым минимальным количеством частиц), охлаждение клапанной пластины, нагрев корпуса клапана, проводимость корпуса клапана, коррозионная стойкость, металлическая пыль и высокотемпературное излучение, предъявляют более высокие требования к характеристикам клапана.

Вакуумные клапаны в области передовых процессов производства интегральных схем являются передовыми и репрезентативными. Продукция клапанов от таких компаний, как НДС, MKS и VTES, может соответствовать эксплуатационным требованиям вакуумного оборудования для нанесения и травления: генерация "без частиц" (чрезвычайно малое количество резиновых и металлических частиц), отсутствие индукции вибрации (высокоточная передача) и точный контроль (отсутствие утечек, регулировка проводимости). Безчастичные клапаны являются основой высококачественного вакуумного оборудования для нанесения, что отличает их от обычных вакуумных клапанов: металлический корпус клапана использует процессы высоковакуумной пайки и дегидрирования; в трансмиссионном уплотнении используется металлический сильфон; резина прочно прикреплена к пластине клапана, а затем подвергается вулканизационной обработке; резина выдерживает одностороннее уплотнительное давление без фрикционного движения.

В системах со сверхвысоким вакуумом некоторые компоненты могут генерировать частицы во время работы. Газы, жидкие среды (такие как вода, спирт или кислота) или мембранные фильтры используются для тонкой фильтрации для разделения частиц. Как правило, частицы размером более 0,3 мкм отфильтровываются. Даже в вакуумной среде без турбулентности частицы оседают на поверхности относительно долго. Для вакуумных устройств, подвергающихся воздействию окружающего воздуха (без фильтра), после вакуумирования в течение нескольких часов плавающим частицам (размером более 0,2 мкм) в нетурбулентном состоянии потока требуется примерно 80 часов, чтобы прилипнуть к поверхности и больше не транспортироваться. Когда вакуумный клапан открывается при 10 мбар, частицы отделяются от адсорбционной поверхности из-за вибрации и турбулентности и транспортируются вместе с газом в системе. Чтобы получить вакуумную систему, свободную от частиц, следует принять меры для избежания значительной вибрации при давлении 1 мбар.

Уровни чистоты классифицируются в зависимости от размера и количества частиц в воздухе со ссылкой на международный стандарт ISO14644-1, как показано в таблице 1. Компоненты ускорителя обычно соответствуют экологическим условиям класса ISO 4 и класса ISO 5. В процессе сборки чистые помещения используют блоки вентилятора фильтра (FFU) для фильтрации воздуха; в мобильных палатках чистых помещений может быть установлена местная среда класса ISO 5.

Клапаны сверхвысокого вакуума и высокого вакуума классифицируются в соответствии с диапазоном степени вакуума. Для различных сценариев применения также необходимо описать и определить характерные атрибуты клапанов разных размеров. Дополнительные условия, такие как высокое давление газа, сильное магнитное поле, низкая утечка, состояние без частиц (состояние с достигнутым минимальным количеством частиц), охлаждение клапанной пластины, нагрев корпуса клапана, проводимость корпуса клапана, коррозионная стойкость, металлическая пыль и высокотемпературное излучение, выдвигают более высокие требования к характеристикам клапана.

Вакуумные клапаны в области передовых процессов производства интегральных схем являются передовыми и репрезентативными. Продукция клапанов от таких компаний, как НДС, МКС и ВТЭС, может соответствовать эксплуатационным требованиям вакуумного оборудования для нанесения и травления: генерация "без частиц" (чрезвычайно малое количество резиновых и металлических частиц), отсутствие индукции вибрации (высокоточная передача) и точное управление (отсутствие утечек, регулировка проводимости). Безчастичные клапаны являются основой высокопроизводительного вакуумного оборудования, что отличает их от обычных вакуумных клапанов: металлический корпус клапана использует процессы высоковакуумной пайки и дегидрирования; в трансмиссионном уплотнении используется металлический сильфон; резина прочно прикреплена к пластине клапана, а затем подвергается вулканизационной обработке; резина выдерживает одностороннее уплотнительное давление без фрикционного движения.

В системах со сверхвысоким вакуумом некоторые компоненты могут генерировать частицы во время работы. Газы, жидкие среды (такие как вода, спирт или кислота) или мембранные фильтры используются для тонкой фильтрации для разделения частиц. Как правило, частицы с размером частиц более 0,3 мкм отфильтровываются. Даже в вакуумной среде без турбулентности частицы оседают на поверхности относительно долго. Для вакуумных устройств, подвергающихся воздействию окружающего воздуха (без фильтра), после вакуумирования в течение нескольких часов плавающим частицам (размером более 0,2 мкм) в нетурбулентном состоянии потока требуется около 80 часов, чтобы прилипнуть к поверхности и больше не транспортироваться. Когда вакуумный клапан открывается при 10 мбар, частицы отделяются от адсорбционной поверхности из-за вибрации и турбулентности и транспортируются вместе с газом в системе. Чтобы получить вакуумную систему, свободную от частиц, следует принять меры, чтобы избежать очевидной вибрации при давлении 1 мбар.

Уровни чистоты классифицируются в зависимости от размера и количества частиц в воздухе со ссылкой на международный стандарт ISO14644-1, как показано в таблице 1. Компоненты ускорителя обычно соответствуют экологическим условиям класса ISO 4 и класса ISO 5. В процессе сборки чистые помещения используют фильтры-вентиляторы (FFU) для фильтрации воздуха; в мобильных палатках чистых помещений может быть установлена местная среда класса ISO 5.